高精度CNC三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長度及圓周、分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。
高精度CNC三坐標測量儀是一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器。
高精度CNC三坐標測量儀作為高精度的測量設備，其大的優(yōu)點當然是精度高，高精度可以達到1微米，甚至更高。為了保證三坐標如此的高精度，高品質(zhì)品牌的三坐標測量機的光柵尺的精度更是達到了納米級別，測量的三坐標測量機使用的進口高品質(zhì)光柵尺的精度就達到了微米。
高精度CNC三坐標測量儀的另一個優(yōu)點就是測量的特征多，幾乎所有類型的尺寸測量，三坐標測量儀都可以進行測量，通過構造特征，更是可以對平面度，圓度，同心度等等進行檢測。
高精度CNC三坐標測量儀使用的測量軟件pc－dmis軟件，還可以導入CAD數(shù)模進行脫機檢測，使三坐標測量機不止有測量特征多，還具有測量速度快，效率高等優(yōu)點。
因為高精度CNC三坐標測量儀使用的是測頭探針進行接觸式的測量，如果工件太細小，探針無法進行探測，或者工件為軟薄等材質(zhì)，接觸時會發(fā)生變形等等情況，都無法
使用高精度CNC三坐標測量儀進行測量。不過隨著三坐標測量機的發(fā)展，這一缺點正在慢慢的被修補，目前部分三坐標廠家，已經(jīng)開始推出復合式三坐標測量儀，讓非接觸測量和接觸式測量進行結合的一種新型測量儀器。
